ZH9060兩探針單晶矽多晶矽測試儀

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產品名稱: ZH9060兩探針單晶矽多晶矽測試儀

產品型號: ZH9060

產品展商: ghitest

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簡單介紹

本儀器主要用於測量大直徑的單晶矽和多晶矽的電阻率分布情況，以便矽材料的切割和加工。

ZH9060兩探針單晶矽多晶矽測試儀 的詳細介紹

產品簡介:
本儀器主要用於測量大直徑的單晶矽和多晶矽的電阻率分布情況，以便矽材料的切割和加工。
為適應大規模集成電路的迅猛發展，**是計算機芯片、內存的發展，越來越多的使用到了大直徑、高*度、均勻度*高的單晶矽材料。目前，在美國、德國等的工業，均采用了二探針法，使用二探針5G影院天天爽成人免费下载來測量大直徑單晶矽的電阻率分布情況。
本儀器美國ASTM 《“F391-77”關於二探針測量矽單晶試驗方法》的標準，是一種**的半導體電阻率測試儀，適合半導體材料廠和器件廠用於二探針法測量單晶矽和多晶矽半導體棒狀材料的體電阻率，從而進一步判斷半導體材料的性能，指導和監視操作，也可以用來測量金屬材料的電阻，儀器具有測量精度高、穩定性好、結構緊湊、使用方便、造型美觀等特點。也可以配四探針測試頭作常規的四探針法測量矽晶體材料。
儀器分為儀表電氣控製箱、測試台、探頭三部分，儀表電氣控製箱由高靈敏度直流數字電壓表、高抗幹擾高隔離性能的電源變換裝置、高穩定高精度恒流源和電氣控製部分組成。測量結果由大型LED數字顯示，零位穩定、輸入阻抗高，並設有自校功能。在棒狀材料使用二探針法測試時，具有係數修正功能，從麵板輸入相應的修正係數，可以直接讀出電阻率，使用方便。測試台結構**，造型美觀，可以方便地固定好大小**尺寸的樣品，並可以作逐點選擇步進測量，也可以自由選擇固定位置測量，電活動自如，具備鎖定裝置，方便重複測量。另外還配置了二處記錄板和轉椅，測試探頭能自動升降，探針為碳化鎢材料，配置寶石軸承，具有測量精度高、遊移率小、耐磨、使用壽命長特點。同時探頭壓力恒定並且可調整，以適合不同的材料。
規格參數：
可測矽材料尺寸：
直徑Φ25~Φ150mm滿足ASTM F-397的要求。
長度：100~1100mm.
測量方式：軸向測量，每隔10mm測量一點。
測量電阻率範圍：10^-3~10³Ω-cm,可擴展到10⁵Ω-cm。
數字電壓表：
量    程：0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V
測量誤差：±0.3%讀數±2字
輸入阻抗：0.2mV和2mV檔>106Ω
           20mV檔及以上>108Ω
顯    示：31/2位LED數字顯示，範圍0~1999。
恒流源：
電流輸出：直流電流0~100mA連續可調。
量    程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
電流誤差：±0.3%讀數±2字
二探針測試裝置：
探針間距：4.77mm
探針機械遊移率：0.3%
探針壓力：0~2kg可調
測試探頭自動升降
二探針測試台
測試矽單長度：100-1100mm
測試點間距：10mm
測試台有慢、快二種移動速度，快速移動速度為1000mm/分（均勻手動）
電    源：交流220V±10%，50HZ±2HZ
消耗功率：<150W

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